EDWARDS泛半导体应用经理马震:加强关注液晶面板行业的排放标准尤为重要

  发布时间: 2019年10月24日 08:07:30   作者: 广丰能源网

10月22日-23日,由国家发展和改革委员会高技术产业司、工业和信息化部电子信息司、北京市发展和改革委员会、北京市经济和信息化委员会指导,中国光学光电子行业协会液晶分会、日经BP社主办的2019国际显示产业高峰论坛(DIC 2019)在北京举行。EDWARDS泛半导体应用经理马震做了主题为《平板显示技术行业,设备操作及对中国环境的影响》的主题演讲。

EDWARDS泛半导体应用经理马震:加强关注液晶面板行业的排放标准尤为重要

马震介绍说,今年是DIC十年,同时也是EDWARDS成立一百周年。EDWARDS是一家英国的公司,一百年以前研制了第一台真空泵,是这个行业里第一台干式的真空产品,一百年以后,我们的真空泵被用在各个行业,包括制冷、食品,也包括液晶面板和半导体行业。

液晶面板生产过程中,有哪些危险气体、哪些危险元素需要处理?需要处理到什么程度?

为此,马震介绍说,典型的液晶面板的生产工厂关注的设备可能是左上角一小块,这是玻璃经过镀膜以后出来的设备。但是大家看不到的是除主设备外,例如真空泵和下面的水洗燃烧式的尾气处理设备,还有动力厂房,相关配套的水洗设备,废水处理设备等。但是这些恰恰是成本比较高的地方。沉积设备的输入气体是主要原料,主要原料除了玻璃就是气体,这些气体包括硅烷、氨气、一氧化二氮、氢气,这些都是易燃易爆气体。经常处理这些气体,有一些粉尘的堆积,其中红色的NF3气体恰恰是造成环境污染的主要因子。这些气体处理完之后要经过真空泵抽出来,本来这些易燃易爆的气体在真空状态下,或者在低压状态下是安全的不易燃的,但是压缩一千倍变成易燃的,所以需要加入惰性气体稀释,例如氮气。经过真空泵以后来到POU,尾气处理设备。这时主要发生的是化学反应,易燃气体在里面发生燃烧,给它足够时间,会变成惰性气体。但是惰性气体处理的同时会产生有毒有害有腐蚀性的气体,这些气体尾气处理设备里,经过尾气处理设备以后最终达到国家环保规定要求的下限,可以直接排放,这个过程在成膜设备里发生的。

马震表示,早在1910年,美国最先颁布了环保条约,那个时候没有这些气体,最早的条约是针对二氧化硅的,因为那个时候采矿业还是主流,大家发现粉尘对肺部有深远的影响。采矿业经过十年以后,变成了TLV变成了最大的介质,30年代苏联发布了MAC最大允许浓度,50、70年代,德国和欧洲也颁布了自己的法律。80年代开始,液晶面板和半导体产业开始发展,这个时候大家发现与环保相关领域扩展了很多,各种各样的气体层出不穷,90年国际上形成认可的环保法规,任何国家都不能超过这个浓度。美国一般有TLV,TLV是最高允许的浓度,这个浓度分8小时浓度,15分钟浓度和绝对不能超过的浓度,可想而知这个浓度越来越高。国际统称叫OELS,美国叫TLV,中国叫MAC,欧洲叫MAK。

最后马震强调,法规是依据的基础。中国的法规是最严格的,中国的法规更多关注与氯气,氯化氢、氟化氢和氮氧化物。氮氧化物是PM2.5的基础,所有的PM2.5都以氮氧化物为基础凝结,氟化物,氯化物有腐蚀性,氯气是化学武器,这些条例不仅广泛,而且规划的非常严格。

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