气体质量流量控制器可以当成气体质量流量计使

  发布时间: 2022年01月15日 12:09:32   作者: 广丰能源网

莱峰流体LF系列气体质量流量控制器采用毛细管传热温差量热法原理,测量气体的质量流量将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量热式气体质量流量计。控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。

气体质量流量控制器可以当成气体质量流量计使



气体质量流量计和气体质量流量控制器结构气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。
LF系列MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

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